該工藝中的空氣過濾器和空氣壓縮機的簡介同深冷制氮工藝。
　　1. 冷干機：是用來降低進(jìn)入空氣干燥凈化器前壓縮空氣的溫度，使之析出油和水的設(shè)備。通常采用列管式、套管式、散熱片式等結(jié)構(gòu)的后冷卻器。
　　2.油水分離器：它的作用是分離壓縮空氣中所含的油分和水分，使壓縮空氣得到初步的凈化。
　　3.空氣干燥凈化器：壓縮空氣經(jīng)后冷卻器后仍含有的水分，其含量取決于空氣的溫度。壓縮空氣的干燥處理一般采用分子篩吸附法和冷凍干燥法。
　　4.變壓吸附制氮裝置：采用的吸附劑通常為5A分子篩或碳分子篩，再生方式為無熱再生，高壓吸附、低壓或常壓解析。此為分離氮氣的核心設(shè)備。
　　5.氮氣凈化設(shè)備：包括除氧塔、吸附干燥器和水冷凝器。除氧塔是一個用鈀作催化劑的催化反應(yīng)器。吸附干燥器的吸附劑為分子篩，再生方式為有熱再生（電加熱）。
　　PSA制氮具有工藝流程簡單、自動化程度高、產(chǎn)氣快(15～30分鐘)、能耗低，產(chǎn)品純度可在較大范圍內(nèi)根據(jù)用戶需要進(jìn)行調(diào)節(jié)，操作維護(hù)方便、運行成本較低、裝置適應(yīng)性較強等特點。在1000Nm3／h以下的中、小型氮氣用戶應(yīng)用廣泛，PSA制氮已成為中、小型氮氣用戶的方法。